勻膠機,可程式勻膠 機用于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。
真空無氧烘箱,高溫無氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合材料預處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導體封裝、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
全氟辛基三氯硅烷涂膠機,抗粘劑PFTS烘箱主要用于納米壓印光刻(NIL)應用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠;以及功率半導體,LED,MEMS,半導體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
真空固化烤箱,防氧化真空系統用于鍵合前鍵合材料的真空處理 、ITO膜退火,PR膠排膠固化等工藝。廣泛應用于半導體、電子產品、醫療衛生等行業,適用于工廠、高等院校、科研等場所。