氮氣柜箱體內裝有氧含量分析儀，全稱檢測氧含量，可設置超標報警功能。排氣口采用自動風門設計以達到強烈的循環效果及快速降溫，進氣口加附N2流量計控制進氣量，
氮氣柜技術參數
內腔尺寸 W600mm×D600mm×H600mm
材質 外箱采用優質不銹鋼，內箱采用SUS304不銹鋼
溫度范圍 RT+10-300℃
溫度分辨率 0.1℃
溫度波動度 ＜±0.5℃
溫度均勻度 ≤±1.5%
潔凈度 class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境
電源及總功率 AC 380V±10% / 50HZ 總功率約15.0KW
升溫速度 5-8℃/min
降溫速度 降溫5℃/min或自定義
氧含量
高溫狀態氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
氮氣柜概述
無氧化烤箱箱體內裝有氧含量分析儀，全稱檢測氧含量，可設置超標報警功能。排氣口采用自動風門設計以達到強烈的循環效果及快速降溫，進氣口加附N2流量計控制進氣量。
翅片式水冷散熱器，冷卻水通過散熱器快速帶走更多的熱量，使得箱內溫度快速下降，縮短降溫時間，提高生產效率。
