詳細盤點HMDS鍍膜機的使用注意事項-上海雋思實驗儀器有限公司

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更新時間：2022-01-20 點擊次數：945次

　　HMDS鍍膜機通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

　　HMDS鍍膜機的使用注意事項：

　　1、定期清潔真空室并盡量抹干，每次都*洗干凈，以免造成越來越難洗的現象。烘干后再鍍膜，頭一爐應比原來延長四倍時間才鍍膜。

　　2、定期更換擴散泵油，更換真空泵及羅茨泵油。更換擴散泵油前一定要確認真空度是否低于1X102Pa，擴散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態后，方可進行加熱或充大氣進行拆卸，否則會產生傷害人的嚴重后果。

　　3、平時整個系統要保持真空狀態，工作前才充入氣體，不要使真空室長期暴露在大氣中。

　　4、經常檢查膠封是否良好，特別是動密封圈，定期給動密封處加上真空脂。

　　5、定期檢查電氣元件，清除灰塵，更換燒壞的元器件。

　　6、在真空狀態下不得拆卸擴散泵和閥門。拆卸的方法是：先將整個真空系統抽至真空狀態，注意不要加熱擴散泵，用手動打開精抽閥，然后按放氣閥按鈕讓系統充入大氣，當真空室充滿大氣后就可進行拆卸擴散泵和閥門。

　　7、停旋片泵、滑閥泵時，要注意電磁閥(或氣動閥)是否向泵腔充氣，否則會引起回油，污染真空管道。因此，電磁閥(或氣動閥)充氣動作失靈時，必須及時進行修理或更換。

　　8、對于偏北地區，在寒冷季節，夜間和較長時間停機時，必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體，以免凍裂冷卻水管(套)和泵體。

　　9、精抽系統要待真空壓強達到3Pa后才能工作，若在過高的壓強下進行抽氣，會使擴散泵油氧化，降低抽氣能力，縮短泵油的使用壽命。

　　10、為保證真空鍍膜設備有清潔的工作環境，滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外，因為從滑閥泵排出的氣體含有很多微小的油霧會污染被鍍的工件，嚴重影響膜層的質量。

　　11、在工作過程中不得斷水，采用的冷卻水必須清潔，不得使用硬水或濁水作為冷卻水，否則會使冷卻水管沉積一層水垢，影響冷卻效果。

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